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洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级

洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级

 

SCP等级
粒径
0.005 µm
0.1 µm
 
 
 
 
 
0.05 µm
5
 
 
 
 
 
0.001 µm
10µm
 
 
 
 
 
50 µm
100 µm
500µm
Scp1级
(200)
100
20
(10)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp2级
(2000)
1000
200
100
(20)
(10)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp3级
(20000)
10000
2000
1000
(200)
(100)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Scp4级
(200000)
100000
20000
10000
2000
1000
(200)
(100)
 
 
 
 
 
Scp5级
 
 
 
 
 
1000000
200000
100000
20000
10000
2000
1000
(200)
Scp6级
 
 
 
 
 
(10000000)
2000000
1000000
200000
100000
20000
10000
2000
Scp7级
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
10000000
2000000
1000000
200000
10000
20000
Scp8级
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
100000000
2000000
1000000
200000

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