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进入洁净室的材料、设备以及机器(4)

6) 在隔离区清洁工作完成后,可以进行设备的试运行和设备性能的初步测试,但**后验收的测试,则需要完全具备洁净室的条件方可。 
7) 经仔细分析,选定对洁净室内的正常工作干扰**少的时间拆除隔断墙。在小心地拆除隔断墙的同时,隔离区内原被临时阻断的送风口,开始恢复送入洁净空气。此过程中,宜于随时监测周边离子浓度的变化。 
8) 清理隔断后,设备所处位置恢复洁净室正常状态,开始对设备内部和**工序部位(critical processing chambers),进行进一步清洁和作投人使用的准备。 
9) 对设备所有内腔和所有与澳门76 net必赢-76 net必赢-首页接触表面,也包括澳门76 net必赢-76 net必赢-首页装卸的表面,都要进行擦拭, 使之达到要求的洁净度水平。设备清洁顺序应是从顶到底。如果清洁过程中有颗粒物散出,则较大的粒子,在重力作用下将落到设备底部或地面。 
10) 再次清洁设备外部,其顺序也是从顶**底。 
11) 必要时,应检查澳门76 net必赢-76 net必赢-首页或工艺要求非常**区域的表面粒子情况。 6.固定设备的维护与维修 
任何设备都需要定期维护或临时维修。对此项工作的引导原则是:无论设备进行维护或维修时,都不能造成对洁净室的污染。维护、维修工作完成后要清除设备外表面的污染,按工艺要求,必要时还要清除内表面的污染。 
1) 如有可能,凡要进行维修的设备应先移出洁净室再维修,以减少污染产生的可能性; 2) 如果必要,应将需要维护的固定设备与周围的洁净室隔离开来,再进行主要的维护或维修。或者采取把所有正在制造的澳门76 net必赢-76 net必赢-首页移往适当位置的措施; 
3) 正在维护、维修设备相邻的洁净室区域,应适当加强监控,以保证有效地控制污染; 4) 在隔离区内进行维修、维护的工作人员,不应与洁净室的生产或操作人员发生接触; 5) 进人洁净室的维护或维修人员,应遵循该洁净区的规范,包括穿着适当的工作服及维修完成后对该区和设备清洁应达到要求; 
6) 如果技术人员需要躺下或爬到设备下面去维修,应该先确定工作条件是否适宜,应在进行化学品、酸或生物危险品有效中和或适当处理后,再开始维修工作; 
7) 应采取措施保护维修人员的洁净服不接触到设备上的润滑油或工艺用化学品等污 染物,还应避免洁净服被设备、工作的锐边撕裂、捅破; 
8) 进行维护或维修工作用的全部工具、工具箱、小车等,在进入洁净室前都应彻底 地清洁,不允许带入任何锈蚀的工具。如果进人生物洁净室,则还可能要求灭菌或消毒; 
9) 维修技术人员应避免把工具、各种零配件、损坏的零部件或清洁用的工具材料等 任何物品,放置在澳门76 net必赢-76 net必赢-首页或工艺材料用的工作表面附近; 
10) 维修工作过程中应该注意清洁,随时进行清洁工作,定期地更换手套,避免因手 套破损,维修人员的皮肤接触设备洁净表面的情况发生; 
11) 如果要求使用耐酸、耐热或耐切割型的非洁净室手套,那么这些手套应符合洁净 室要求或另套一副洁净室手套; 
12) 如需进行钻、锯作业时,应使用专用的罩盖,把工具和进行钻、锯的区域遮蔽起 来,同时使用洁净室真空除尘器,及时吸走扬尘。 
13) 在地面、墙面、设备侧板或其他表面钻孔后,留下的缝隙、孔洞,要采取密封措 施,如用填料、粘合剂和特殊制造的板堵塞,以防止污染物经孔洞、缝隙扩散到洁净室内。
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