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超净工作台尘埃粒子数的检测记录表


超净工作(gōng zuò)台尘埃粒子数的检测(检查并测试)记录(jì lù)表
采样点
A
B
C
 
 
 
 
**次
采样次数
1
2
3
1
2
3
1
2
3
≥0.5μm
35
36
37
56
55
57
43
44
45
平均值(The average value)
36
56
44
≥5μm
0
0
0
0
0
0
0
0
0
平均值(The average value)
0
0
0
第二次
采样次数
1
2
3
1
2
3
1
2
3
≥0.5μm
41
43
42
45
46
47
46
43
43
 
平均值(The average value)
42
46
44
≥5μm
0
0
0
0
0
0
0
0
0
平均值(The average value)
0
0
0
第三次
采样次数
1
2
3
1
2
3
1
2
3
≥0.5μm
46
7
9
11
17
51
14
9
2
 
平均值(The average value)
21
27
9
≥5μm
0
0
0
0
0
0
0
0
0
平均值(The average value)
0
0
0
标准(biāo zhǔn)规定(guī dìng)
≥0.5μm尘粒数(粒?m-3)
≤3500
≥5μm尘粒数(粒?m-3)
0
  结论
符合标准(biāo zhǔn)规定(guī dìng)
巡查人:唐鹏程  复核(审查核对)人:蒋铭强            巡查日期:2013-04-24

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